Einfluss von Aufdampf- und Sputterprozessen auf die Passivierungseigenschaft von amorphen Siliziumschichten für Heterosolarzellen

Meiners, Britt-Marie

Die hier vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Betrachtung einzelner Prozess-schritte zur Herstellung von Silizium-Heterosolarzellen, wie dem Sputtern von Indiumzin-noxid, dem Abscheiden von intrinsisch amorphen Siliziumpassivierungsschichten und der durch Aufdampf- und Sputterprozesse verursachten Degradation der Passivierungs-schichten. Zunächst werden die Herstellungsprozesse für die Indiumzinnoxid- und Pas-sivierungs-schichten betrachtet. Der Parameterraum wird mithilfe von statistischen Ver-suchsplänen abgetastet. Damit können die Abhängigkeiten der Schichteigenschaften von den Prozessparametern und deren Wechselwirkungen untereinander gezeigt wer-den. Die elektrischen Eigenschaften des Indiumzinnoxids und die Passivierungsqualität des intrinsischen amorphen Siliziums konnten dadurch verbessert werden. Nach einer Optimierung der dotierten amorphen Schichten für die Solarzellenherstellung wird das Hauptaugenmerk auf die Degradation der Passivierungsschichten durch nachfolgende Prozessschritte gelegt. Hier werden die Auswirkungen unterschiedliche Aufdampf- und Sputterprozesse auf die Passivierungsqualität der intrinsischen Siliziumschichten unter-sucht. Zum Schluss werden die Ursachen der auftretenden Degradation näher beleuchtet.

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Meiners, Britt-Marie: Einfluss von Aufdampf- und Sputterprozessen auf die Passivierungseigenschaft von amorphen Siliziumschichten für Heterosolarzellen. Hagen 2015. FernUniversität in Hagen.

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